БД по теплофизическим свойствам газов, используемых в полупроводниковой промышленности

Общие сведения
Название:	БД по теплофизическим свойствам газов, используемых в полупроводниковой промышленности
Аббревиатура:
Сайт:	https://www.nist.gov/pml/sensor-science/fluid-metrology/database-thermophysical-properties-gases-used-semiconductor
Телефон:	+13019752476
Факс:
e-Mail:	john.hurly@nist.gov
Примечания:
Статус:	активна

Ключевые слова
полупроводниковые, теплофизические

Организации - разработчики
Страна	Название	Адрес
США	National Institute of Standards and Technology (NIST)	A329 Materials Building, Gaithersburg, MD 20899 USA

Литературные ссылки
В БД нет литературных ссылок для этой БД