На главную

БД по коэффициентам взаимной диффузии компонентов газофазной эпитаксии полупроводниковых материалов


БД по коэффициентам взаимной диффузии компонентов газофазной эпитаксии полупроводниковых материалов (ЭПИДИФ)

Общие сведения
Название:БД по коэффициентам взаимной диффузии компонентов газофазной эпитаксии полупроводниковых материалов
Аббревиатура:ЭПИДИФ
Сайт:
Телефон:
Факс:
e-Mail:lfokin@mail.ru
Примечания:Коэффициенты взаимной диффузии компонентов газофазной эпитаксии полупроводниковых материалов.

Ключевые слова
диффузия, полупроводниковые, потенциал межмолекулярных взаимодействий

Организации - разработчики
СтранаНазваниеАдрес
РоссияОбъединённый институт высоких температур РАН (ОИВТ РАН)125412, Москва, ул Ижорская 13/19

Литературные ссылки
АвторыНазваниеИсточникГодТомНомерСтраницы
1Fokin L.,
Kalashnikov A.,
Petkov I.,
Pirgov P.,
Popov V.,
Zarkova L.
Joint Russian and Bulgarian Academies of Sciences Database of intermolecular potentials and diffusion coefficients for components of the CVD processes in microelectronics
View PDF
Int.J.Thermophysics20012251497-1506
2Калашников А.Н.,
Фокин Л.Р.
Транспортные свойства смеси разреженных газов N2-H2 в базе данных ЭПИДИФ
View PDF
Теплофиз.высок.температур2009475675-687


+7 (499) 135-25-91
kis@ultra.imet.ac.ru
© Все права защищены ИМЕТ РАН, 2009
Разработка сайтов на заказ