 |
БД по коэффициентам взаимной диффузии компонентов газофазной эпитаксии полупроводниковых материалов
БД по коэффициентам взаимной диффузии компонентов газофазной эпитаксии полупроводниковых материалов (ЭПИДИФ)
| Общие сведения |
|---|
| Название: | БД по коэффициентам взаимной диффузии компонентов газофазной эпитаксии полупроводниковых материалов |
|---|
| Аббревиатура: | ЭПИДИФ |
|---|
| Сайт: | |
|---|
| Телефон: | |
|---|
| Факс: | |
|---|
| e-Mail: | lfokin@mail.ru |
|---|
| Примечания: | Коэффициенты взаимной диффузии компонентов газофазной эпитаксии полупроводниковых материалов. |
|---|
| Статус: | не активна |
|---|
| Ключевые слова |
|---|
| диффузия, полупроводниковые, потенциал межмолекулярных взаимодействий |
| Организации - разработчики |
|---|
| Страна | Название | Адрес |
|---|
| Россия | Объединённый институт высоких температур РАН (ОИВТ РАН) | 125412, Москва, ул Ижорская 13/19 |
|---|
| Литературные ссылки |
|---|
| № | Авторы | Название | Источник | Год | Том | Номер | Страницы |
|---|
| 1 | Fokin L.,
Kalashnikov A.,
Petkov I.,
Pirgov P.,
Popov V.,
Zarkova L. | Joint Russian and Bulgarian Academies of Sciences Database of intermolecular potentials and diffusion coefficients for components of the CVD processes in microelectronics
 | Int.J.Thermophysics | 2001 | 22 | 5 | 1497-1506 |
|---|
| 2 | Калашников А.Н.,
Фокин Л.Р. | Транспортные свойства смеси разреженных газов N2-H2 в базе данных ЭПИДИФ
| Теплофиз.высок.температур | 2009 | 47 | 5 | 675-687 |
|---|
|
|
|
+7 (499) 135-25-91